傳感器技術(shù)是智能制造的基石。 在當今智能時代的推動下，高性能，高可靠性，多功能和復(fù)雜的自動測控系統(tǒng)以及基于射頻識別技術(shù)的物聯(lián)網(wǎng)的興起和發(fā)展，日益凸顯了具有感知功能的智能傳感器的重要性。 和認知能力。 其迅速發(fā)展的迫切性。
  智能傳感器遵循更通用的分類方法，并根據(jù)要測量的差異大致分為三類：物理量智能傳感器，化學(xué)量智能傳感器和生物量智能傳感器。
  其中，根據(jù)所測量的物理量，物理量智能傳感器可以簡單地概括為六類：力，熱，聲，光，電和磁。 每個類別的傳感器都包含多個分支。 以機械量傳感器為例，分支零件清單如下：
  真正的智能傳感器應(yīng)具有以下功能：
  1）自校準，自校準和自動補償功能；
  2）自動數(shù)據(jù)采集，邏輯判斷和數(shù)據(jù)處理功能；
  3）具有自我調(diào)節(jié)和自適應(yīng)功能；
  4）具有一定程度的存儲，識別和信息處理功能；
  5）雙向通訊，標準數(shù)字輸出或符號輸出功能；
  6）算法判斷和決策處理功能。
  傳感材料，MEMS芯片，驅(qū)動器和應(yīng)用軟件是智能傳感器實現(xiàn)這些功能的核心技術(shù)，特別是MEMS芯片，由于其體積小，重量輕，功耗低，可靠性高以及與微處理器集成等特點，具有 成為智能傳感器的重要載體。 下面以常用的溫度，壓力，光學(xué)和RFID傳感器為例，介紹基于MEMS的智能傳感器技術(shù)的發(fā)展。
  ①智能溫度傳感器
  智能溫度傳感器適用于冶金，石化，石油，化工，制藥，造紙，印染，釀造，環(huán)保和電力等行業(yè)。 當前的智能溫度傳感器正朝著高精度，多功能，總線標準化，高可靠性和安全性，虛擬傳感器和網(wǎng)絡(luò)傳感器以及單芯片溫度測量系統(tǒng)的方向發(fā)展。 目前，國外已經(jīng)使用9-12位A / D轉(zhuǎn)換器，以0.5-0.625°C的分辨率相繼推出了各種高精度，高分辨率的智能溫度傳感器。 美國達拉斯半導(dǎo)體公司新開發(fā)的DS1624高分辨率智能溫度傳感器可以輸出13位二進制數(shù)據(jù)，分辨率高達0.03°C，溫度測量精度為±0.2°C。
  ②智能壓力傳感器
  基于MEMS技術(shù)的智能壓力傳感器具有小型化，低成本和易于集成的優(yōu)點。 壓力感應(yīng)范圍也很寬，介于1kPa和100MPa之間。 它可以廣泛用于微機電系統(tǒng)，汽車，空氣動力學(xué)，過程控制和生物醫(yī)學(xué)中。 當前智能壓力傳感器技術(shù)的研究熱點致力于緩解其靈敏度和線性度之間的矛盾，以提高傳感器的精度。  Bourns在美國開發(fā)的新型BPS140壓力傳感器性能穩(wěn)定。 在-40°C至150°C的溫度范圍內(nèi)使用時，總誤差為2.5％FS，產(chǎn)品壽命變化為0.5％FS 。
  ③光學(xué)傳感器
  非接觸式和非破壞性測量是光學(xué)傳感器的主要優(yōu)勢，光學(xué)傳感器廣泛用于電子產(chǎn)品測試領(lǐng)域。 當前，CCD和CMOS圖像傳感器是兩種主流成像技術(shù)。 隨著圖像傳感器技術(shù)的不斷改進，像素精度不斷提高（已達到5μm的水平），環(huán)境照明要求也不斷降低。 安森美半導(dǎo)體推出的KAI-50140是市場上最高分辨率的ITCCD圖像傳感器，達到5000萬像素，具有關(guān)鍵的細節(jié)成像功能和高圖像均勻性，可用于智能手機顯示屏檢查，電路板檢查和機械 組裝檢查等領(lǐng)域。
  ④RFID
  RFID代表射頻識別技術(shù)，通常稱為電子標簽。 它是一種通信技術(shù)，它使用無線電信號自動識別特定目標并讀寫相關(guān)數(shù)據(jù)，而無需在識別系統(tǒng)和特定目標之間建立機械或光學(xué)接觸。
  RFID是一種智能識別和數(shù)據(jù)收集（AIDC）的方法，是物聯(lián)網(wǎng)（IoT）的重要組成部分，可用于生產(chǎn)線的物流管理，例如物料分揀。 近年來，RFID研究熱點主要集中在數(shù)據(jù)完整性和安全性上，例如提高數(shù)據(jù)識別的準確性，確保在獲取信息時不會泄露用戶隱私，以及使用RFID技術(shù)實現(xiàn)在其他領(lǐng)域的應(yīng)用。 比如基于RFID技術(shù)等的室內(nèi)定位